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一体成型电感有什么处理器2020-06-30 14:26:12
一体成型电感等离子体处分器,处分器:真空室上方配置一个感到天线,感到天线持续到一个源射频电源;真空室内配置一基座,基座上方用于支持待处分晶圆;射频偏压电源和第二射频偏压电源一可切换般配网页,选定性地将、第二射频偏压电源中的此中之连续通到基座中;此中射频偏压电源的输出灯号频率大于第...
一体成型电感有哪种离子体处理设备2020-06-30 14:23:25
一体成型电感装配和等离子体处分装备。多组射频天线组,每组射频天线组均建设有般配器和射频电源,每组射频天线组多个子射频天线,每个子射频天线的起码片面位于工艺腔室内;每个地区均对应配置有一组射频天线组,每组射频天线组均能在对应的射频电源的掌握下自力向所对应的地区传输射频能量。
一体成型电感离子体源怎么改进2020-06-30 14:20:56
用于应用一体成型电感等离子体源来处分基板的装备。一体成型电感等离子体源行使功率源、屏障构件以及耦合到功率源的线圈。在某些实行例中,线圈与程度螺旋群组以及垂直延长的螺旋群组安插在一路。
一体成型电感怎么主动热控脉冲2020-06-30 14:18:31
自动热控的脉冲一体成型电感,绝缘芯轴、铜管、进水嘴、出水嘴、冷却箱、水泵和热管换热器;铜管绕设于绝缘芯轴上;冷却箱中充有冷却液,水泵安排于冷却箱内,热管换热器与冷却箱不变持续,且热管换热器的蒸发段位于冷却箱里面,热管换热器的冷凝段位于冷却箱外部;
一体成型电感​集成芯片怎么封装制造2020-06-30 14:15:15
一体成型电感集成芯片及其封装生产技巧,一体成型电感组件和电源芯片,电源芯片配置有引脚,电源芯片上设有持续槽,引脚设于持续槽中,一体成型电感组件封装体、线圈绕组和导电卡扣,封装体包覆线圈绕组,线圈绕组有两输出端,导电卡扣与输出端持续、且导电卡扣设于封装体外,一体成型电感组件和电源芯...
一体成型电感液体怎么冷却2020-06-30 14:08:12
液体冷却高电压一体成型电感,电感外筒、支持环以及位于外筒两头的输入盖板和输出盖板,外筒内设有几何电感单位以及位于相邻电感单位之间且瓜代配置的绝缘隔板和第二绝缘隔板,如果相邻电感单位之间经历凑近外筒的片面串联,则相邻电感单位之间经历绝缘螺杆不变持续;
一体成型电感性能怎么检测2020-06-29 14:48:30
一体成型电感机能新式检验机构,此中基座上开设有滑槽,在基座中心地位不变有两个L型安排块,两个L型安排块比较配置且造成一体成型电感安排凹槽,两块联动板划分配置在安排块的双侧且每块联动板底部不变有一T型滑块,T型滑块与滑槽滑动合营,在每块联动板上还持续有一驱动气缸,每块联动板的内侧不...
一体成型电感有哪些超导用2020-06-29 14:47:25
超导用一体成型电感,安置板内腔的下端不变持续有制冷板,安置板的内腔且位于制冷板的外侧不变持续有导热板,安置板顶部的中端不变持续有套筒,且套筒的内外貌涂设有电磁屏障涂层,套筒的外貌面从内向外顺次涂设有碳化钨涂层和陶瓷基复合涂层,套筒内腔的底部不变持续有环形磁芯。