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一体成型电感有什么处理器

作者: 发布时间:2020-06-30 14:26:12点击:1330

一体成型电感等离子体处分器,处分器:真空室上方配置一个感到天线,感到天线持续到一个源射频电源;真空室内配置一基座,基座上方用于支持待处分晶圆;射频偏压电源和第二射频偏压电源一可切换般配网页,选定性地将、第二射频偏压电源中的此中之连续通到基座中;此中射频偏压电源的输出灯号频率大于第二射频偏压电源的输出灯号频率。特地针对兼职频率计划了一种射频般配网页,供应两种差别频率操纵的、可有用切换的射频般配网页,可有用地施加偏压功率,可以或许切换偏压频率并供应可以或许将任一偏压频率有用地耦合至等离子体的射频般配网页。


基于一体成型电感等离子体与离子束耦合的光学加工,一体成型电感等离子体产生器和离子束产生器同时兼职,一体成型电感等离子体产生器出射的等离子体与离子束产生器出射的离子束均入射到待加工光学质料外貌造成好处区,且两个好处区大小相像且重合。在等离子体和离子束的配合好处下,可以或许获取较高的光学质料去除率及崇高的外貌毛糙度及下外貌毁坏层。


立体四螺旋一体成型电感线圈,四个相像的线圈绕组,这四个线圈绕组缠绕着该一体成型电感线圈的中间轴成每90°的中间对称,每个线圈绕组为同轴的内、中、外三层布局,同轴是指同一体成型电感线圈的中间轴,每个线圈绕组起码三个线圈分支,各线圈分支划分位于具备高度差的差别程度面上,各线圈分支之间线圈过渡段相连。使得电压强度在线圈的各个地位都比较平衡,从而使得等离子体漫衍加倍匀称,晋升了刻蚀速度和匀称性。http://www.coilmxsz.com/

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