一体成型电感有哪种离子体处理设备

一体成型电感装配和等离子体处分装备。多组射频天线组，每组射频天线组均建设有般配器和射频电源，每组射频天线组多个子射频天线，每个子射频天线的起码片面位于工艺腔室内；每个地区均对应配置有一组射频天线组，每组射频天线组均能在对应的射频电源的掌握下自力向所对应的地区传输射频能量。一体成型电感装配，能够产生大面积匀称性的等离子，能够到达优越的匀称性，包管晶片的良品率。别的，还能够非常大限制进步能量耦合服从。

一体成型电感等离子体质谱仪排烟罩，排烟管和用于过滤气体的过滤块，排烟管为中空布局且两头划分具备进气口和排气口，气体从进气口进来排烟管内并从排气口排挤；过滤块配置在排烟管里面，且过滤块具备端和第二端，进来排烟管里面的气体由端活动至第二端以穿过过滤块；端的密度大于第二端的密度。该排烟罩，配置密度转变的过滤块，能够应用过滤块的高密度地区对油污、颗粒、无益气体等举行精过滤，气体运送至低密度地区时经历阻力较低，在知足气体过滤结果的环境下包管气体的运送服从。

巩固机能好的一体成型电感等离子体质谱仪，承接底板和不变安置在承接底板上端的质谱仪本体和表现屏，承接底板两头均开设有罗纹孔，罗纹孔内安置有效于进步质谱仪程度巩固性的程度安定机构，承接底板的下端均设有柱形筒柱形筒内安置有效低落竖直打击力的缓冲机构。配置程度安定机构、缓冲机谈判第二缓冲机构，能够在等离子体质谱仪兼职时，滚动旋钮使螺杆降落，进而将安定销钉插入大地，加强质谱仪的程度巩固性，同时多根弹簧、支持柱松懈冲垫的配置能够大幅度低落质谱仪本体和表现屏所受到的竖直偏向的打击力，从而减弱触动，低落噪声，防备质谱仪里面元器件产生松动。http://www.coilmxsz.com/